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In Mikrotechnik:
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© Bosch GmbH
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Überschlagsensor von Bosch
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Bei Bosch lief kürzlich der 200-millionste mikromechanische Sensor vom Band. Allein im Jahr 2002 wird Bosch
nach eigenen Angaben voraussichtlich über 70 Millionen Sensoren in Mikrosystemtechnik an die Automobilhersteller liefern -
und damit einer der weltweit größten Hersteller dieser Sensor-Technik sein. Annähernd die Hälfte aller von Bosch gefertigten
Sensoren sind derzeit schon mikromechanisch aufgebaut.
Mit der Mikrosystemtechnik lassen sich extrem kleine, leichte und robuste Sensoren wirtschaftlich herstellen. Dazu wird der
Sensor-Chip mit den nur wenige hundert Mikrometer großen beweglichen Messstrukturen direkt aus einem Silizium-Halbleiter
geformt. Die Sensoren vereinen in der Regel das Silizium-Sensorelement und elektronische Schaltungen, beispielsweise zur
Signalauswertung oder zur Eigendiagnose, in einem Bauteil.
Bosch nahm 1994 die Produktion mikromechanischer Drucksensoren für die Motorsteuerung auf. Luftmassenmesser in
Mikrosystemtechnik gingen 1995 in Serie, 1997 folgten Beschleunigungssensoren, beispielsweise zur Steuerung von
Rückhaltesystemen und ABS. Für das Elektronische Stabilitätsprogramm (ESP) und für Navigationsgeräte brachte das
Unternehmen 1998 mikromechanische Drehratensensoren auf den Markt, 2001 stellten die Stuttgarter als Weltneuheit einen
Sensor vor, der einen drohenden Fahrzeugüberschlag frühzeitig erkennt. Er ist Teil eines neuen Konzepts, das geeignete
Rückhaltesysteme rechtzeitig aktiviert und somit das Verletzungsrisiko verringert.